Интегральные гибридные микросхемы

Излагаются основные вопросы проектирования и изготовления интегральных гибридных микросхем как тонкопленочных, так и толстопленочных. Приводится технологическая схема изготовления микросхем и достаточно полно описывается технология изготовления ее пассивных элементов: резисторов, конденсаторов, индуктивностей, проводников, а также технология сборки и герметизации микросхемы в целом. Формулируются требования к активным и пассивным элементам микросхемы. Дается краткое описание основного технологического и измерительного оборудования. Приводятся сведения об электрофизических параметрах и эксплуатационных характеристиках, основанные на результатах обработки большого статистического материала. В заключение указываются область применения таких схем и перспективы развития этого направления.

Брошюра рассчитана на широкий круг инженеров электронной техники, радиоинженеров и студентов старших курсов вузов соответствующих специальностей.